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パーティクルカウンターの原理や用途、粉塵計との違いを分かりやすく解説


パーティクルカウンターとは、空気中に浮遊するダストなどの微粒子を計測する計測器のことです。
似た様な計測器として粉塵計がありますが、粉塵計がダストの濃度(単位mg/cm3)を計測するのに対して、パーティクルカウンターは微粒子の個数(個/m3)を計測します。

1.パーティクルカウンターの原理

パーティクルカウンターの測定原理には、主に光散乱方式が採用されています。
気中にレーザー光を照射し、粒子にレーザー光が当たると散乱光を発します。
その散乱光をフォトダイオードで検知し、電気信号に変換し、粒子の個数を計測する方式です。


パーティクルカウンタと粉じん計の違い-光散乱方式原理

2.パーティクルカウンターと粉塵計の違い

パーティクルカウンターと粉塵計の違いに明確な定義は無い様ですが、一般的には「気中の粒子個数を計測」するものがパーティクルカウンター、「気中の粉塵濃度」を計測するもが粉塵計と呼ばれています。
用途的には、下図のように濃度と測定方式(単発か連続測定か)により機器が選定されます。

パーティクルカウンターはクリーンルームの検査用途などで単発的な測定を行う用途が多く、連続的に常時監視する様な用途には粉塵計が使われるケースが多いと言えます。

粉塵計用途
①集塵機のバグフィルターの破れ検出
②一般室内
③ 屋外大気
④ 工場内、解体現場、トンネル内、粉塵がある現場

パーティクルカウンターの用途
① 半導体の製造工場のクリーンルーム
② 精密機器の製造工場のクリーンルーム
③ 薬品・食品・飲料製造工場のクリーンルーム
④ 印刷・機械部品・手術室・治療室
 


パーティクルカウンタと粉じん計の違い-検出クラス

 

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